Microplaqueta que verific o microscópio TG2U

 】 Da introdução do 【:
 A litografia de TG2U é usada no LSI, sensor, componente da onda de superfície, bolha magnética, micrôonda, CCD e assim por diante.

 】 Da observação do 【:
 Parâmetro técnico da litografia TG2U:
 tamanho 1.Template:
 a.100×100×2-3mm;
 b.75×75×2-3mm:
 2. tamanho do silicone: Φ50-Φ75mm, linha largura real 3-4цm;
 3. deslocamento do comparativo entre o molde e o silicone:
 、 Y ≥±2.5mm da.X;
 b.θ (girar) ≥±5°;
 a estação 4.support (silicone) gira axies de Z: 360° de ajustamento áspero, multa - ±5 de ajustamento;
 escala 5.Integrated movente da estação de funcionamento: X o、 Y integra Φ75mm;
 6. o espaço entre a estação da esfera e o molde básicos: 0-7mm;
 7. sistema da exposição: GCQ200W sobre a esfera de alta pressão hectograma, comprimento de onda da exposição: 300~436nm;
 8.engergy não é menos do que 407nm do comprimento de onda; 7mw/cm;
 9. desigual está dentro de Φ75mm: ±5%:
 10. comprimento de onda de iluminação: ≈545nm;
 11. tempo de exposição: Minutos de O.01 seconds-99.99;
 12. a escala de focalização de binocular: 13mm;
 13. o zumbido de binocular:
 ocular dos pares do A.: lOX, 16X;
 objetivo liso do campo do B.: 6X, 9X, 15X;
 zumbido do total do C. para fora: 60X-240X;
 . pressão tocante do vácuo 14: ≥O.7Kgf;
 . fonte de alimentação 15:
 a.frequency: 50HZ (Z);
 tensão de entrada de b.rotated: 190V-230V;
 consumo de c.power: ≤300VA;
 16.Dimension: ） das caixas do （2 de 1000X850X980mm
 17.Weight: ≈200Kg;
 (1) fonte do vácuo: ≥450mm hectograma;
 (2) o dispositivo da estabilidade do suprimento de ar está abaixo
 Adicionar: Se o usuário teve qualquer pedido especial, contatar por favor connosco.